Innovative Aufbau- und Verbindungstechnologien auf Basis keramischer Schaltungsträger
Keramische Werkstoffe weisen unikale Eigenschaften für die Verwendung als elektrischer Schaltungsträger auf.
Dazu gehört u.a. die Beständigkeit unter hohen Temperaturen und aggressiven Medien, exzellente dielektrische Eigenschaften mit werkstoffabhängiger Permittivität und dielektrischem Verlust, hohe Wärmeleitfähigkeiten und die thermomechanische Adaption an gängige Halbleitermaterialien.
In Abhängigkeit der Anwendung finden verschiedene keramische Fertigungstechnologien Einsatz.
Im Rahmen des Beitrages soll ein Überblick verschiedener Fertigungstechnologien (u.a. Dickschichttechnologie, Mehrlagenkeramiktechnologie, Keramikspritzguss und additive Fertigung) für elektrische Schaltungsträger und damit verknüpfter Innovationen vorgestellt werden. Neben der Fertigungstechnologie wird auf die Herstellung neuer Materialien und Halbzeuge und sich daraus ergebenden Anschluss- und Kontaktierungstechnologien für aktive/passive elektrische Bauelemente eingegangen.
